iH1800愛德華干式泵維修

iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59040946

技術數(shù)據(jù)

峰值速度                 1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                 1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                 4 slm

進氣口連接                 ISO160

出口連接                 NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入                 4.1 kW

電機額定功率                 7.0 kW

油容量                         1.6 l

 Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
 
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

東莞市鴻鑫真空設備有限公司專業(yè)維修愛德華干泵，愛德華半導體干泵，萊寶干泵，愛發(fā)科干泵，漢鐘干泵，卡西雅瑪干泵等干泵維修

東莞市鴻鑫真空設備有限公司集生產(chǎn)銷售、安裝設計、維修保養(yǎng)真空設備、真空氦檢漏儀及通用機械設備、精密機械及自動化設備等產(chǎn)品的企業(yè)。公司主要銷售及維修真空泵品牌有：鴻鑫系列單雙級真空泵、鴻鑫螺桿及羅茨真空泵、德國LEYB0LD萊寶真空泵、德國BUSCH普旭真空泵、德國RIETSCHLE里其樂真空泵、德國BECKER貝克真空泵、英國EDWARDS愛德華真空泵、日本ULVAC愛發(fā)科真空泵、德PFEIFFER普發(fā)真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿*真空泵、美國AGILENT安捷倫真空泵等進口真空泵及真空系統(tǒng)。銷售真空泵配件：真空泵油、油霧分離器、排氣過濾器、葉片、碳精片、油過濾器、進氣濾芯、空氣總成、散熱風扇、風扇葉、風扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮(zhèn)閥、視油鏡、密封套件、聯(lián)軸器、聯(lián)軸器墊等配件材。                                                 同時公司還經(jīng)營電子材料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等           

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